Технология СБИС: в 2-х кн.
- Фрейзер Д.
- Фичтнер У.
- Паррильо Л.
- Маркус Р.
- Стейдел К.
- Бертрем У.
- Пирс К.
- Адамс А.
- Кац Л.
- Цай Дж.
- Макгиллис Д.
- Зи С.
- Лейкин В. Н.
- Звероловлев В. М.
Аннотация
В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов. В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС.
Библиографическая запись
Могэб К
Технология СБИС : в 2-х кн / Фрейзер Д; Фичтнер У; Паррильо Л; Маркус Р; Стейдел К; Бертрем У; Пирс К; Адамс А; Кац Л; Цай Дж; Макгиллис Д; Зи С; Лейкин В. Н; Звероловлев В. М. — Москва : Мир, 1986.
Все поля
- Издательство
- Мир
- Место издания
- Москва
- Год издания
- 1986
- ББК / Шифр
- 31.233
- Язык
- Русский
Отзывы и оценки
Войдите и оставьте отзыв.
Отзывов пока нет.